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粉末原子層沉積系統

更新時間✘·◕↟│:2021-12-16
產品型號✘·◕↟│:P 系列
所屬分類✘·◕↟│:P 系列粉末原子層沉積系統
描述✘·◕↟│:P 系列粉末原子層沉積系統是 Forge Nano 針對工業包覆研發的粉末 ALD 負載系統◕◕││↟,可實現 kg 級粉末批次包覆◕◕││↟,是工業生產前理想的研發工具╃↟✘·。
詳情介紹

P 系列粉末原子層沉積系統

forge-p系列.jpeg

粉末包覆可有效提升材料效能與使用壽命◕◕││↟,如鋰電正極或負極材料◕◕││↟,經過表面包覆處理後在放電效能及迴圈使用壽命方面都有明顯提升◕◕││↟,但目前工業的包覆手段以機械混合的幹法為主◕◕││↟,該方法包覆均勻性較差◕◕││↟,效能提升有限╃↟✘·。ALD 技術可實現高精度及均勻包覆◕◕││↟,是理想的包覆手段╃↟✘·。Forge Nano 針對粉末類材料比表面積大的特點◕◕││↟,採用流化床技術實現粉末材料的流化◕◕││↟,從而保證前驅體與粉末實現充分的接觸╃↟✘·。P 系列粉末原子層沉積系統是 Forge Nano 針對工業包覆研發的粉末 ALD 負載系統◕◕││↟,可實現 kg 級粉末批次包覆◕◕││↟,是工業生產前理想的研發工具╃↟✘·。


產品規格原子層沉積多少錢


1. 前驅體通道✘·◕↟│:2-8

2. 腔室容量✘·◕↟│:0-600ml

3. 反應器溫度✘·◕↟│:450℃

4. 最高工藝溫度✘·◕↟│:200℃

5. 振動流化床反應器

6. 模組✘·◕↟│:流化輔助◕◕││↟,質譜◕◕││↟,臭氧發生器◕◕││↟,等離子體發生器


產品特點


P 系列是 Forge Nano 專為粉末 ALD 開發的研發級工具◕◕││↟,可輕鬆實現 kg 的粉末包覆╃↟✘·。使用流化床技術可保證粉末在反應器中的分散◕◕││↟,有利於前驅體擴散╃↟✘·。

圖片5.png

流化輔助

粉末在長時間存放或流化不充分時容易出現團聚◕◕││↟,導致無法形成理想的流化態╃↟✘·。因此利用流化輔助模組◕◕││↟,高剪下氣流以及振動反應器的設計可衝散團聚顆粒◕◕││↟,確保分散效果╃↟✘·。


分割槽加熱

所有前驅體源均可獨立加熱◕◕││↟,保證運輸條件◕◕││↟,這對於部分低蒸汽壓的前驅體以及敏感的基底材料非常重要╃↟✘·。P 系列也擁有*的閥門控制系統◕◕││↟,可以實現多通道前驅體輸運╃↟✘·。


線上監測

P 系列配置了氣體線上分析系統◕◕││↟,對 ALD 工藝的改善有較大幫助◕◕││↟,使用者可透過氣體成分判斷反應的完成度╃↟✘·。


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應用

鋰電池✘·◕↟│:鋰電正極或負極材料的包覆可有效提升其放電效能及使用壽命╃↟✘·。常見的 NCM 與磷酸鐵鋰◕◕││↟,在表面包覆 Al2O3 等氧化物薄膜後◕◕││↟,在經過多次放電後◕◕││↟,仍可保持較高的能量密度╃↟✘·。



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3D 列印✘·◕↟│:3D 列印粉末存在腐蝕及表面氧化的問題◕◕││↟,會影響最終器件的效能╃↟✘·。透過表面塗層改性◕◕││↟,可有效延緩氧化及腐蝕╃↟✘·。傳統的包覆方式是在器件表面進行 ALD 沉積◕◕││↟,但對於 3D 列印粉末◕◕││↟,直接對原材料粉末改性無疑是更有效的手段╃↟✘·。


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催化✘·◕↟│:催化反應大多數是發生在材料表面的介面反應◕◕││↟,因此對於催化劑材料進行表面構築改性是有效的效能提升手段╃↟✘·。利用 ALD 可以直接在粉末◕◕││↟,纖維材料表面生長高活性奈米塗層◕◕││↟,另一種方法是利用模板法結合 ALD 在表面構築特定結構◕◕││↟,暴露活性位點╃↟✘·。此外◕◕││↟,也可以在特定的顆粒表面進行表面包覆◕◕││↟,防止催化劑燒結團聚╃↟✘·。


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