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高解析度臺式掃描電鏡在材料領域中的應用

 釋出時間▩•↟:2022-08-19 點選量▩•↟:105
  高解析度臺式掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統兩部分↟◕·。鏡體部分由電子光學系統▩•▩✘•、訊號收集和顯示系統以及真空抽氣系統組成↟◕·。由電子槍◕✘·▩₪,電磁透鏡◕✘·▩₪,掃描線圈和樣品室等部件組成↟◕·。其作用是用來獲得掃描電子束◕✘·▩₪,作為訊號的激發源↟◕·。為了獲得較高的訊號強度和影象解析度◕✘·▩₪,掃描電子束應具有較高的亮度和儘可能小的束斑直徑↟◕·。
 
  高解析度臺式掃描電鏡由電子槍發射出來的電子束◕✘·▩₪,在加速電壓的作用下◕✘·▩₪,經過磁透鏡系統匯聚◕✘·▩₪,形成直徑為5nm◕✘·▩₪,經過二至三個電磁透鏡所組成的電子光學系統◕✘·▩₪,電子束會聚成一個細的電子束聚焦在樣品表面↟◕·。
 
  檢測樣品在入射電子作用下產生的物理訊號◕✘·▩₪,然後經影片放大作為顯像系統的調製訊號↟◕·。現在普遍使用的是電子檢測器◕✘·▩₪,它由閃爍體◕✘·▩₪,光導管和光電倍增器所組成↟◕·。
 
  在材料領域中◕✘·▩₪,掃描電鏡技術發揮著重要的作用◕✘·▩₪,被廣泛應用於各種材料的形態結構▩•▩✘•、介面狀況▩•▩✘•、損傷機制及材料效能預測等方面的研究↟◕·。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產生過程◕✘·▩₪,可以觀察金屬材料內部原子的集結方式和它們的真實邊界◕✘·▩₪,也可以觀察在不同條件下邊界移動的方式◕✘·▩₪,還可以檢查晶體在表面機械加工中引起的損傷和輻射損傷等↟◕·。
 
  掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次◕✘·▩₪,高景深的角度呈現材料斷裂的本質◕✘·▩₪,在教學▩•▩✘•、科研和生產中◕✘·▩₪,有不可替代的作用◕✘·▩₪,在材料斷裂原因的分析▩•▩✘•、事故原因的分析已經工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段↟◕·。

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