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什麼是荷電效應₪·？
掃描電子顯微鏡主要用於樣品表面微觀形貌觀察•▩·，但在觀察樣品過程中經常由於荷電效應使得影象異常變亮·╃、畸變•▩·，甚至出現影象模糊的情況•▩·，嚴重影響成像質量│☁☁。
圖1固體絕緣材料的電子發射特性曲線│☁☁。橫座標為入射電子能量•▩·，縱座標為試樣的電子產率│☁☁。荷電現象可以用基爾霍夫電流定律表示•▩·，即在任一瞬時流向某一結點的電流之和等於由節點流出的電流之和│☁☁。可用以下公式表達◕↟╃：
其中 Ip 是入射電子的電流•▩·，δIb 是背散射電子和二次電子的電流之和•▩·，Isc 是樣品接地電流•▩·，Q 為時間 t 內的放電電荷│☁☁。
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