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數學為什麼重要▩✘↟?用公式為您解釋掃描電鏡低電壓觀察不導電樣品的優勢

 釋出時間•·:2020/6/23 點選量•·:680
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什麼是荷電效應▩✘↟?

 

掃描電子顯微鏡主要用於樣品表面微觀形貌觀察▩☁╃,但在觀察樣品過程中經常由於荷電效應使得影象異常變亮◕☁·•、畸變▩☁╃,甚至出現影象模糊的情況▩☁╃,嚴重影響成像質量₪✘◕↟·。

 

圖1固體絕緣材料的電子發射特性曲線₪✘◕↟·。橫座標為入射電子能量▩☁╃,縱座標為試樣的電子產率₪✘◕↟·。荷電現象可以用基爾霍夫電流定律表示▩☁╃,即在任一瞬時流向某一結點的電流之和等於由節點流出的電流之和₪✘◕↟·。可用以下公式表達•·:

 

 

其中 Ip 是入射電子的電流▩☁╃,δIb 是背散射電子和二次電子的電流之和▩☁╃,Isc 是樣品接地電流▩☁╃,Q 為時間 t 內的放電電荷₪✘◕↟·。

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