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掃描電鏡常見搭檔——噴金儀相關問題詳解

 釋出時間│✘│·│:2020/5/29 點選量│✘│·│:979
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詳細介紹│✘│·│:

噴金儀是什麼↟↟╃☁?

 

在封閉腔室中✘₪,放置陽極靶材✘₪,充入氣體✘₪,保持一定的真空度✘₪,在陽極和陰極之間載入高壓✘₪,會發生輝光放電現象│•·。電離的氣體離子會轟擊↟╃₪◕、侵蝕陽極靶材│•·。靶材原子會因此向四周擴散✘₪,並在樣品上沉積✘₪,終在樣品表面形成一個均勻的鍍層│•·。這個鍍層可以抑制荷電✘₪,減小熱損傷✘₪,提高二次電子產率✘₪,從而改善掃描電鏡觀察效果│•·。

 

平時使用時✘₪,常見的靶材是金靶│•·。正是這個原因✘₪,離子濺射儀也俗稱“噴金儀”│•·。

 

然而✘₪,為了獲得更細小的晶粒尺寸↟╃₪◕、更薄的連續鍍層✘₪,有時候也會使用其他靶材(比如鉻)│•·。這些靶材對真空度的要求更高✘₪,需要額外配置分子泵方可達到要求│•·。

傳真│✘│·│:

郵箱│✘│·│:info@phenom-china.com

地址│✘│·│:上海市閔行區虹橋鎮申濱路 88 號上海虹橋麗寶廣場 T5✘₪,705 室

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