噴金儀是什麼│✘▩│▩？

在封閉腔室中╃₪✘│₪，放置陽極靶材╃₪✘│₪，充入氣體╃₪✘│₪，保持一定的真空度╃₪✘│₪，在陽極和陰極之間載入高壓╃₪✘│₪，會發生輝光放電現象▩₪│☁✘。電離的氣體離子會轟擊╃✘、侵蝕陽極靶材▩₪│☁✘。靶材原子會因此向四周擴散╃₪✘│₪，並在樣品上沉積╃₪✘│₪，終在樣品表面形成一個均勻的鍍層▩₪│☁✘。這個鍍層可以抑制荷電╃₪✘│₪，減小熱損傷╃₪✘│₪，提高二次電子產率╃₪✘│₪，從而改善掃描電鏡觀察效果▩₪│☁✘。

平時使用時╃₪✘│₪，常見的靶材是金靶▩₪│☁✘。正是這個原因╃₪✘│₪，離子濺射儀也俗稱“噴金儀”▩₪│☁✘。

然而╃₪✘│₪，為了獲得更細小的晶粒尺寸╃✘、更薄的連續鍍層╃₪✘│₪，有時候也會使用其他靶材（比如鉻）▩₪│☁✘。這些靶材對真空度的要求更高╃₪✘│₪，需要額外配置分子泵方可達到要求▩₪│☁✘。