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掃描電鏡常見搭檔——噴金儀相關問題詳解

 釋出時間·✘•◕✘:2020/5/29 點選量·✘•◕✘:805
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詳細介紹·✘•◕✘:

噴金儀是什麼│✘▩│▩?

 

在封閉腔室中╃₪✘│₪,放置陽極靶材╃₪✘│₪,充入氣體╃₪✘│₪,保持一定的真空度╃₪✘│₪,在陽極和陰極之間載入高壓╃₪✘│₪,會發生輝光放電現象▩₪│☁✘。電離的氣體離子會轟擊╃✘、侵蝕陽極靶材▩₪│☁✘。靶材原子會因此向四周擴散╃₪✘│₪,並在樣品上沉積╃₪✘│₪,終在樣品表面形成一個均勻的鍍層▩₪│☁✘。這個鍍層可以抑制荷電╃₪✘│₪,減小熱損傷╃₪✘│₪,提高二次電子產率╃₪✘│₪,從而改善掃描電鏡觀察效果▩₪│☁✘。

 

平時使用時╃₪✘│₪,常見的靶材是金靶▩₪│☁✘。正是這個原因╃₪✘│₪,離子濺射儀也俗稱“噴金儀”▩₪│☁✘。

 

然而╃₪✘│₪,為了獲得更細小的晶粒尺寸╃✘、更薄的連續鍍層╃₪✘│₪,有時候也會使用其他靶材(比如鉻)▩₪│☁✘。這些靶材對真空度的要求更高╃₪✘│₪,需要額外配置分子泵方可達到要求▩₪│☁✘。

傳真·✘•◕✘:

郵箱·✘•◕✘:info@phenom-china.com

地址·✘•◕✘:上海市閔行區虹橋鎮申濱路 88 號上海虹橋麗寶廣場 T5╃₪✘│₪,705 室

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