噴金儀是什麼↟↟╃☁？

在封閉腔室中✘₪，放置陽極靶材✘₪，充入氣體✘₪，保持一定的真空度✘₪，在陽極和陰極之間載入高壓✘₪，會發生輝光放電現象│•·。電離的氣體離子會轟擊↟╃₪◕、侵蝕陽極靶材│•·。靶材原子會因此向四周擴散✘₪，並在樣品上沉積✘₪，終在樣品表面形成一個均勻的鍍層│•·。這個鍍層可以抑制荷電✘₪，減小熱損傷✘₪，提高二次電子產率✘₪，從而改善掃描電鏡觀察效果│•·。

平時使用時✘₪，常見的靶材是金靶│•·。正是這個原因✘₪，離子濺射儀也俗稱“噴金儀”│•·。

然而✘₪，為了獲得更細小的晶粒尺寸↟╃₪◕、更薄的連續鍍層✘₪，有時候也會使用其他靶材（比如鉻）│•·。這些靶材對真空度的要求更高✘₪，需要額外配置分子泵方可達到要求│•·。