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如何呈現掃描電鏡樣品表面的“真實形貌”

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詳細介紹◕▩│☁:

掃描電子顯微鏡(SEM)是依靠電子束與樣品相互作用產生俄歇電子◕▩、特徵 X 射線和連續譜 X 射線◕▩、背散射電子等訊號☁▩•,對樣品進行分析研究₪✘₪◕。

 

掃描電鏡在表徵樣品時☁▩•,受諸多引數的影響☁▩•,不同型別樣品應選用合適的引數☁▩•,才能呈現出樣品更真實的表面資訊₪✘₪◕。如在不同的加速電壓下☁▩•,電子束與樣品作用所獲得的訊號會有很大的差別₪✘₪◕。從理論上說☁▩•,入射電子在樣品中的散射軌跡可用 Monte Carlo 的方法模擬(如圖1 所示)☁▩•,並且推導得到入射電子大穿透深度 Zmax₪✘₪◕。

 

Zmax=0.0019(A / Z)1.63E01.71

 

圖1 電子在鈦(Ti)金屬中的運動軌跡

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