掃描電鏡主要用於微觀形貌分析☁✘│✘，其測試結果的好壞☁✘│✘，一方面是由儀器的效能▩•、測試條件和操作人員水平決定☁✘│✘，另一方面還與樣品製備過程有關✘▩₪。

SEM樣品需要保持清潔▩•、無汙染物☁✘│✘，儘量把汙染程度降到低✘▩₪。因此要求我們在拿取與製備樣品時需要佩戴乾淨無粉手套☁✘│✘，使用的剪刀▩•、鑷子等制樣工具亦要保持乾淨✘▩₪。
 

保持 SEM 制樣工具乾淨

如果在樣品製備過程中☁✘│✘，不注意保持清潔☁✘│✘，用裸手拿取樣品☁✘│✘，手上的油脂灰塵會汙染樣品✘▩₪。如下圖所示☁✘│✘，裸手接觸乾淨鋁箔表面後☁✘│✘，可以觀察到明顯的汙染物✘▩₪。透過能譜面掃分析☁✘│✘，發現汙染顆粒主要成分為碳和氧☁✘│✘，由此推斷該汙染物主要為油脂✘▩₪。

       乾淨鋁箔表面                                                    裸手觸控過的鋁箔表面

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表面汙染物能譜面掃結果分析