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掃描電鏡主要用於微觀形貌分析☁☁，其測試結果的好壞☁☁，一方面是由儀器的效能▩↟、測試條件和操作人員水平決定☁☁，另一方面還與樣品製備過程有關•₪☁☁╃。
SEM樣品需要保持清潔▩↟、無汙染物☁☁，儘量把汙染程度降到低•₪☁☁╃。因此要求我們在拿取與製備樣品時需要佩戴乾淨無粉手套☁☁，使用的剪刀▩↟、鑷子等制樣工具亦要保持乾淨•₪☁☁╃。
保持 SEM 制樣工具乾淨
如果在樣品製備過程中☁☁，不注意保持清潔☁☁，用裸手拿取樣品☁☁，手上的油脂灰塵會汙染樣品•₪☁☁╃。如下圖所示☁☁，裸手接觸乾淨鋁箔表面後☁☁，可以觀察到明顯的汙染物•₪☁☁╃。透過能譜面掃分析☁☁，發現汙染顆粒主要成分為碳和氧☁☁，由此推斷該汙染物主要為油脂•₪☁☁╃。
乾淨鋁箔表面 裸手觸控過的鋁箔表面
表面汙染物能譜面掃結果分析
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