掃描電鏡作為一種基礎顯微成像工具☁✘│✘，因具有超高的放大能力☁✘│✘，從而被高校▩•、科研院所▩•、材料研發和質量分析部門廣泛用於研發▩•、生產過程✘▩₪。

相比於光學放大器件☁✘│✘，掃描電子顯微鏡使用電子束進行成像☁✘│✘，放大▩•、分辨能力比光學顯微鏡有非常大的提升✘▩₪。

圖1 金相樣品光學顯微鏡影象 (左) 和掃描電鏡影象 (右)

Phenom 飛納電鏡開發了*的超景深成像模式✘▩₪。在該模式下☁✘│✘，掃描電鏡可以根據樣品景深進行全視野掃描☁✘│✘，並自動計算視野所有位置上可以獲得清晰影象的工作距離☁✘│✘，隨後連續自動曝光☁✘│✘，終得到理論景深無限制的掃描電鏡影象✘▩₪。圖 6 展示了超景深模式開啟前和開啟後的影象對比✘▩₪。

圖6 超景深模式開啟前後效果對比