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掃描電鏡作為一種基礎顯微成像工具↟✘•▩•，因具有超高的放大能力↟✘•▩•，從而被高校◕₪✘•↟、科研院所◕₪✘•↟、材料研發和質量分析部門廣泛用於研發◕₪✘•↟、生產過程↟☁▩☁·。
相比於光學放大器件↟✘•▩•，掃描電子顯微鏡使用電子束進行成像↟✘•▩•，放大◕₪✘•↟、分辨能力比光學顯微鏡有非常大的提升↟☁▩☁·。
圖1 金相樣品光學顯微鏡影象 (左) 和掃描電鏡影象 (右)
Phenom 飛納電鏡開發了*的超景深成像模式↟☁▩☁·。在該模式下↟✘•▩•，掃描電鏡可以根據樣品景深進行全視野掃描↟✘•▩•，並自動計算視野所有位置上可以獲得清晰影象的工作距離↟✘•▩•，隨後連續自動曝光↟✘•▩•，終得到理論景深無限制的掃描電鏡影象↟☁▩☁·。圖 6 展示了超景深模式開啟前和開啟後的影象對比↟☁▩☁·。
圖6 超景深模式開啟前後效果對比
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