一◕✘·▩₪、能譜定量不準確的原因

能譜（EDS）結合掃描電鏡使用◕✘，能進行材料微區元素種類與含量的分析·✘◕。其工作原理是✘│•↟│：各種元素具有自己的X 射線特徵波長◕✘，特徵波長的大小則取決於能級躍遷過程中釋放出的特徵能量E◕✘，能譜儀就是利用不同元素X 射線光子特徵能量不同這一特點來進行成分分析的·✘◕。

能譜定量分析的準確性與樣品的制樣過程◕✘，樣品的導電性◕✘，元素的含量以及元素的原子序數有關·✘◕。因此◕✘，在定量分析的過程中既有一些原理上的誤差（資料庫及標準）◕✘，我們無法消除◕✘，也有一些人為因素產生的誤差（操作方法）◕✘，這些因素都會導致能譜定量不準確·✘◕。