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掃描電鏡分析樣品表面的深度是多少

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詳細介紹│·☁:

近◕↟,有飛納電鏡使用者詢問關於電子束分析樣品時可以穿透樣品的深度的問題◕↟,這裡小編將為大家詳細介紹一下•••。

 

掃描電鏡是利用聚焦電子束進行微區樣品表面形貌和成分分析◕↟,電子從發射源(燈絲)經光路系統終到達樣品表面◕↟,電子束直徑可到 10 nm 以下◕↟,場發射電鏡的聚集電子束直徑會更小•••。

 

聚焦電子束到達樣品表面會激發出多種物理訊號◕↟,包括二次電子(SE)◕↟,背散射電子(BSE)◕↟,俄歇電子(AE)•·、特徵X 射線(X-ray)•·、透射電子(TE)等•••。

 

· 二次電子 訊號主要來自樣品表面◕↟,其深度範圍 10 nm ◕↟,成像具有較高解析度◕↟,能夠很好的反映樣品形貌特徵•••。


· 背散射電子 是入射電子被樣品原子核反彈回來的部分電子◕↟,電子能量較高◕↟,訊號深度範圍可到 2 μm•••。


· X 射線 可以從樣品較深的位置出射◕↟,其深度範圍可到 5 μm•••。

 

圖1 不同樣品訊號深度

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