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束流強度對掃描電鏡成像質量的影響

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詳細介紹◕▩│☁:

透過之前的 “如何透過選擇加速電壓來提高掃描電鏡的影象質量” 與 “樣品導電性對掃描電鏡成像的影響” 這兩篇文章☁▩•,大家都瞭解了加速電壓與樣品導電性對影象的成像質量有非常大的影響₪✘₪◕。

 

其實☁▩•,除了加速電壓與樣品的導電性☁▩•,電鏡的束流強度◕▩、影象亮度對比度◕▩、影象像散等都會影響掃描電鏡影象的成像質量₪✘₪◕。今天☁▩•,這篇文章將圍繞如何選擇束流強度☁▩•,提高樣品的成像質量₪✘₪◕。

 

掃描電鏡的發射束流強度對影象的信噪比和解析度(resolution)有著決定性的影響₪✘₪◕。大束流可以提高影象的信噪比☁▩•,但是解析度較低₪✘₪◕。小束流則正好相反☁▩•,具有較高的解析度☁▩•,但信噪比較差₪✘₪◕。

 

在這裡☁▩•,小編需要給大家簡單科普一下解析度與信噪比的含義☁▩•,有利於大家理解後面的內容◕▩│☁:

 

解析度是掃描電鏡主要效能指標☁▩•,對成像而言☁▩•,指能分辨兩點之間的小距離(如圖1 所示)₪✘₪◕。通常來說☁▩•,解析度越高☁▩•,樣品的邊緣會越鋒利₪✘₪◕。

 

圖1  解析度定義(兩點間距離)​

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