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當臺式電鏡遇見肖特基場發射電子源

 釋出時間₪╃:2019/3/7 點選量₪╃:806
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詳細介紹₪╃:

在2018 年之前·◕,為何沒有看到使用肖特基場發射電子源(FEG)的臺式掃描電子顯微鏡(SEM)呢│↟?為何在臺式掃描電鏡(SEM)中使用場發射電子源(FEG)是十分的呢?

 

當臺式掃描電鏡遇見場發射電子源

 

臺式掃描電鏡(SEM)是一個相對年輕且發展迅速的產品••。其實許多應用領域並不需要使用低於1 nm 的超高解析度掃描電鏡(SEM)·◕,10 nm 的解析度是綽綽有餘的••。然而·◕,由於材料特徵點尺寸越來越小和觀測需求的增加·◕,臺式掃描電鏡(SEM)使用者有時希望裝置能夠具有更好的解析度·◕,並且保持測樣效率不變•✘、操作依然簡便••。

 

飛納臺式場發射掃描電鏡的誕生

 

在設計新的掃描電鏡(SEM)時會出現諸多挑戰••。通常·◕,為了獲得更好的效能·◕,新裝置的規格需要更高的要求••。另一個挑戰是新系統的出現·◕,不會影響到飛納臺式掃描電鏡(SEM)的操作簡便性••。可以讓沒有掃描電鏡(SEM)操作經驗的實驗室管理員能夠在短時間內熟練操作電鏡••。那麼·◕,當飛納電鏡從CeB6電子源升級到FEG 電子源時·◕,將面臨的挑戰是什麼│↟?

 

首先·◕,需要分析掃描電鏡(SEM)電子源之間的差異••。

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