復納科學儀器(上海)有限公司
資料下載
您現在所在位置☁☁◕:首頁 > 下載中心 > 讓掃描電鏡擁有長期穩定的解析度

讓掃描電鏡擁有長期穩定的解析度

 釋出時間☁☁◕:2019/2/26 點選量☁☁◕:1027
  • 提 供 商☁☁◕:

    復納科學儀器(上海)有限公司

    資料大小☁☁◕:

  • 圖片型別☁☁◕:

    資料型別☁☁◕:

    PDF
  • 下載次數☁☁◕:

    149

    點選下載☁☁◕:

    檔案下載    

詳細介紹☁☁◕:

當談論掃描電鏡品質的時候₪◕▩₪,人們總喜歡將解析度▩☁│₪↟、放大倍數等引數作為評判依據的*◕₪╃•✘。尤其是在購買新裝置時₪◕▩₪,更是將這兩項引數視若明珠₪◕▩₪,不敢稍加怠慢₪◕▩₪,因此很容易陷入 “引數黨” 的漩渦而背離了購買電鏡的初衷◕₪╃•✘。

 

那麼不妨回過神兒來仔細想想₪◕▩₪,大家購買掃描電鏡的實際需求是什麼₪▩│?當然是為了更▩☁│₪↟、更快捷地觀察樣品◕₪╃•✘。

 

那麼如何實現上述的目的呢₪▩│?

 

裝置與人是使用電鏡過程中的兩大主體₪◕▩₪,將電鏡的解析度▩☁│₪↟、放大倍數等引數置於考察的*固然無錯₪◕▩₪,但是更加不能忽略操作人員與電鏡的互動過程₪◕▩₪,也就是使用與管理體驗₪◕▩₪,這其中包括了裝置對環境的適應性▩☁│₪↟、易學性▩☁│₪↟、工作效率和效能的穩定性等因素◕₪╃•✘。

 

設想一下₪◕▩₪,電鏡的操作介面複雜繁瑣₪◕▩₪,如換樣拍照費時費力₪◕▩₪,管理維護程式複雜₪◕▩₪,且電鏡效能衰減嚴重₪◕▩₪,那麼解析度等出廠引數也將失去意義◕₪╃•✘。

 

本篇從電鏡裝置效能穩定性入手₪◕▩₪,初步瞭解其對使用與管理體驗的影響◕₪╃•✘。

 

掃描電鏡解析度

 

如果非要用一個引數來評價掃描電鏡的效能₪◕▩₪,那麼大部分人會毫不猶豫地選擇 “解析度” 這個關鍵詞◕₪╃•✘。

 

解析度代表了有效辨別細小目標的能力₪◕▩₪,掃描電鏡的升級與革新也正是以解析度為界限的◕₪╃•✘。

 

如鎢燈絲掃描電鏡的解析度在 5nm@30kV 級別₪◕▩₪,硼系燈絲掃描電鏡的解析度在 <3nm@30kV 級別₪◕▩₪,而場發射掃描電鏡的解析度可高達埃米級別₪◕▩₪,已接近透射電鏡水平◕₪╃•✘。

 

因此₪◕▩₪,解析度基本代表了電鏡的能力級別◕₪╃•✘。隨著科學技術的發展₪◕▩₪,普及型電鏡的解析度也基本接近峰值₪◕▩₪,而不同廠家同類型電鏡的出廠解析度也日趨一致◕₪╃•✘。

 

那麼₪◕▩₪,如何保證電鏡擁有長期穩定的解析度才是操作人員更應該關注的效能₪◕▩₪,也就是掃描電鏡效能的穩定性◕₪╃•✘。

 

電子源

 

燈絲(電子槍)是電子源的提供者₪◕▩₪,也是整臺電鏡重要的部件₪◕▩₪,燈絲所發射電子的密度▩☁│₪↟、束斑尺寸▩☁│₪↟、能量分佈將決定性影響掃描電鏡的解析度◕₪╃•✘。

 

1. 鎢燈絲

鎢燈絲具有結構簡單▩☁│₪↟、束流大▩☁│₪↟、真空要求低▩☁│₪↟、易更換等優點₪◕▩₪,但是由於其束流密度小▩☁│₪↟、信噪比差▩☁│₪↟、化學穩定性差▩☁│₪↟、且使用壽命短(80-100h)₪◕▩₪,因此₪◕▩₪,在使用過程中需要高頻率的更換燈絲₪◕▩₪,以確保電鏡保持較為穩定的解析度◕₪╃•✘。

 

2. CeB6 燈絲

飛納電鏡採用 CeB6 燈絲◕₪╃•✘。CeB6 燈絲亮度為 1000A/cm2žsr₪◕▩₪,是鎢燈絲亮度的 10 倍₪◕▩₪,因此具有更高的解析度◕₪╃•✘。CeB6 燈絲具有更好的抗干擾能力₪◕▩₪,工作溫度為 1800K₪◕▩₪,遠低於鎢燈絲工作溫度(2800K)₪◕▩₪,燈絲揮發量相對較小₪◕▩₪,因此使用壽命基本都可達到 1500h₪◕▩₪,如果再加以規範管理₪◕▩₪,使用壽命可進一步延長◕₪╃•✘。

 

例如₪◕▩₪,廣西大學材料學院飛納臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX₪◕▩₪,單根燈絲的使用壽命已經達到了 2958h₪◕▩₪,因此使用 CeB6 燈絲可大大減少頻繁更換燈絲的煩惱◕₪╃•✘。

 

廣西大學材料科學與工程學院於 2014 年購入飛納臺式電鏡 Phenom ProX◕₪╃•✘。在燈絲使用 2958h 後更換了新燈絲₪◕▩₪,經測量₪◕▩₪,背散射電子(BSD)影象的解析度為 11.05nm@15kV₪◕▩₪,雖然經歷了近 5 年的使用₪◕▩₪,但是解析度依然可達到 14 年新裝裝置的驗收標準(14 nm)₪◕▩₪,並未出現效能衰減的現象◕₪╃•✘。因此₪◕▩₪,有理由相信飛納電鏡具有優異的效能穩定性◕₪╃•✘。


解析度測試結果

 

燈絲使用 2700 h 時客戶拍攝的影象

 

    

更換燈絲後的掃描電鏡影象

 

燈絲使用計時

 

電子光路系統

 

在電子光路系統中₪◕▩₪,電子槍柵極到陽極區間是受陰極蒸氣汙染較為嚴重的區域₪◕▩₪,需要定時對韋氏帽▩☁│₪↟、陽極等進行超聲▩☁│₪↟、拋光清理才能維持電鏡良好的狀態◕₪╃•✘。如果清理時操作不當或者環境灰塵較多₪◕▩₪,還有可能造成光路系統的二次汙染₪◕▩₪,更換燈絲的頻率越高₪◕▩₪,受汙染的機率也會增大₪◕▩₪,這也是鎢燈絲電鏡效能衰減嚴重的主要原因之一◕₪╃•✘。

 

隨著使用時間的增加₪◕▩₪,掃描電鏡的解析度都有一定程度的下降◕₪╃•✘。得益於飛納電鏡的工業設計₪◕▩₪,其解析度隨使用時間的衰減要比鎢燈絲電鏡緩慢的多◕₪╃•✘。因此₪◕▩₪,即使鎢燈絲電鏡的初始解析度略高於飛納電鏡₪◕▩₪,在之後很長的使用週期內₪◕▩₪,飛納電鏡的解析度都要更優◕₪╃•✘。

 

飛納電鏡的燈絲採用一體化設計₪◕▩₪,燈絲到達壽命後將對整個電子槍進行更換(包含全新的韋氏帽和陽極)₪◕▩₪,從而實現了光學系統免維護◕₪╃•✘。

 

更換燈絲的過程由專業工程師上門完成₪◕▩₪,避免客戶在自行清理過程引入汙染物₪◕▩₪,保障了光路系統的清潔狀態◕₪╃•✘。

 

CeB6 燈絲長壽命的特徵₪◕▩₪,使其無需頻繁更換₪◕▩₪,避免經常將燈絲倉暴露於大氣環境中₪◕▩₪,減少汙染的可能性;CeB6 燈絲高亮度▩☁│₪↟、低色散的特徵₪◕▩₪,使其無需複雜的光路系統₪◕▩₪,因此受汙染的機率降低₪◕▩₪,這保證了電鏡效能的長期穩定◕₪╃•✘。

 

綜上所述₪◕▩₪,飛納電鏡採用高亮度▩☁│₪↟、長壽命的 CeB6 作為電子源₪◕▩₪,既可獲得較高解析度的電子影象₪◕▩₪,又避免了頻繁更換燈絲所造成的二次汙染₪◕▩₪,再加之免維護的光路系統₪◕▩₪,極大程度地保證了電鏡效能的長期穩定₪◕▩₪,即使歷經數載₪◕▩₪,風采依舊不減當年◕₪╃•✘。

傳真☁☁◕:

郵箱☁☁◕:info@phenom-china.com

地址☁☁◕:上海市閔行區虹橋鎮申濱路 88 號上海虹橋麗寶廣場 T5₪◕▩₪,705 室

版權所有 © 2018 復納科學儀器(上海)有限公司   備案號☁☁◕:滬ICP備12015467號-2  管理登陸  技術支援☁☁◕:化工儀器網  GoogleSitemap

聯絡人
線上客服
掃碼關注我們
用心服務 成就你我
中文字幕一区二区精品区,亚洲国产初高中生女av,18禁止午夜福利体验区,老少伦xxxx欧美
掃一掃訪問手機站掃一掃訪問手機站
訪問手機站