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電磁透鏡和像差•₪✘✘:哪些因素會影響掃描電鏡的解析度?

 釋出時間•₪✘✘:2018/9/25 點選量•₪✘✘:1519
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詳細介紹•₪✘✘:

解析度是掃描電鏡(SEM)重要的引數之一││。解析度越好·✘,可以看到的特徵尺寸越小││。解析度的好壞往往取決於聚焦在樣品上的電子束斑的直徑(即束斑尺寸)││。

 

在非理想電子光學系統中·✘,束斑尺寸會因像差而變大││。什麼是電子光學系統中的像差•│?它們如何影響束斑尺寸•│?在這篇部落格中·✘,將回答這些問題並進行深入的分析││。

 

一個非常簡單的電子光學系統的例子

 

在之前的部落格中·✘,談到了鏡筒和透鏡組││。通常·✘,鏡筒由一組透鏡組成·✘,這些透鏡具有約束電子束並將電子聚焦於樣品表面的功能││。樣品上的束斑尺寸決定了電子顯微鏡的解析度││。但是·✘,束斑尺寸是如何定義的呢•│?看看簡單的電子光學系統·✘,如圖 1 所示││。

 

圖1•₪✘✘:簡單的電子光學系統由一個位於頂部的電子光源及聚焦電子束到樣品表面的透鏡組成││。

 

在這個系統中·✘,我們知道電子源與透鏡之間的距離(物距)和透鏡與樣品之間的距離(像距)││。像距通常也稱為工作距離·✘,它隨樣品高度的變化而變化││。像距與物距的比值給出了電子光學系統的放大倍數││。

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