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噴鍍及不噴鍍對掃描電鏡成像的影響

 釋出時間↟✘:2016/6/16 點選量↟✘:2159
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飛納電鏡帶你感受噴鍍及不噴鍍對掃描電鏡成像的影響

 

對導電性不好的樣品進行噴鍍處理✘☁,一是可避免材料荷電₪☁。所謂荷電是入射電子的量大於產生的二次電子或者背散射電子的數量✘☁,從而導致在材料表面形成電子的富集(產生負電位)₪☁。由於負負相斥的原理✘☁,使得後面的入射電子不能在材料表面會聚✘☁,產生一系列的後果✘☁,例如聚焦不太容易聚清楚✘☁,表面形成一道一道白色的二次電子突然放電的現象₪☁。因此要得到滿意的形貌✘☁,應該在材料表面形成一個有效的電子通路✘☁,即在樣品臺和材料表面有導電通路₪☁。*的辦法就是在表面鍍膜✘☁,這就是為什麼掃描電鏡要鍍膜的原因₪☁。另一個原因是增加二次電子發射率✘☁,使影象信噪比增強✘☁,使圖片看上去更漂亮₪☁。

 

但是對於某些樣品✘☁,噴鍍處理後不能準確反映樣品的真實形態₪☁。例如對塗層樣品來說✘☁,背散射電子情況下✘☁,由於電鏡背散射電子成像原理↟✘:影象亮度和元素原子序數成正比✘☁,原子序數越高✘☁,影象越亮✘☁,樣品經過噴金處理後(圖 1)✘☁,表面覆蓋了一層金✘☁,影象亮度基本一致✘☁,很難看出來塗層的位置₪☁。未噴金(圖 2)✘☁,能明顯分辯塗層的位置和厚度✘☁,因此✘☁,對於塗層樣品來說✘☁,背散射電子情況下✘☁,應選擇不噴金直接觀測₪☁。

 

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圖 1 塗層樣品放大倍數 500X (噴金)

 

http://phenom-china.com/ImgUpload/images/%E9%A3%9E%E7%BA%B3%E5%8F%B0%E5%BC%8F%E6%89%AB%E6%8F%8F%E7%94%B5%E9%95%9C2%20-%20%E5%89%AF%E6%9C%AC.jpg

圖 2 塗層樣品放大倍數 500X (未噴金)

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