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有機顆粒樣品掃描電鏡分析

 釋出時間╃▩:2016/6/16 點選量╃▩:1608
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掃描電鏡使用技巧 Get↟↟✘│·,有機顆粒樣品分析有妙招

 

飛納臺式掃描電鏡顆粒統計分析測量系統(Phenom Particle Metric)↟↟✘│·,簡稱顆粒系統↟↟✘│·,由荷蘭 Phenom-World 公司釋出於 2013 年 11 月↟•。顆粒系統透過顆粒與背景襯度的差異對顆粒進行影象識別↟↟✘│·,在獲取 SEM 影象的同時可以獲取所有顆粒的形貌資料↟↟✘│·,例如直徑╃•、等效面積╃•、等效體積╃•、圓度等↟•。並且可以將這些資料進行統計↟•。顆粒探測範圍╃▩:100 nm - 0.1 mm↟↟✘│·,顆粒探測速度高達 1000 顆/分↟•。

http://phenom-china.com/ImgUpload/images/%E9%A3%9E%E7%BA%B3%E7%94%B5%E9%95%9C%E9%A2%97%E7%B2%92%E7%B3%BB%E7%BB%9F1%20-%20%E5%89%AF%E6%9C%AC.jpg

圖 1. Phenom Particle Metric 配置圖

 

在實際操作過程中↟↟✘│·,顆粒與背景元素差異大的顆粒可以很好的識別↟↟✘│·,但由於影象識別技術侷限性↟↟✘│·,如顆粒與背景元素差異較小↟↟✘│·,例如有機顆粒↟↟✘│·,則軟體難以進行有效識別↟↟✘│·,在這種情況下↟↟✘│·,我們可以採用噴金的辦法人為創造出黑色顆粒邊界↟↟✘│·,從而增加軟體識別的準確性↟•。

 

粘在導電膠表面的顆粒與導電膠之間形成空隙區↟↟✘│·,如圖 2 右上所示↟↟✘│·,在噴金過程中↟↟✘│·,此孔隙區無法被金覆蓋↟•。噴金完成之後↟↟✘│·,結構示意圖如圖 3 所示↟•。此時在 SEM 檢視下↟↟✘│·,可以清晰看到顆粒邊緣的黑色邊界↟↟✘│·,圖 4 為顆粒在噴金後陰影邊界與顆粒識別案例↟•。識別結果證明適當噴金有利於提升顆粒系統識別的準確性↟•。而噴金多少呢₪•☁?我們透過實踐總結規律得出↟↟✘│·,噴金厚度為顆粒尺寸 5 ~ 10% 範圍內↟↟✘│·,可以有效增強顆粒系統識別的準確性↟•。

http://phenom-china.com/ImgUpload/images/%E9%A3%9E%E7%BA%B3%E7%94%B5%E9%95%9C%E9%A2%97%E7%B2%92%E7%B3%BB%E7%BB%9F2-2%20-%20%E5%89%AF%E6%9C%AC.png

圖 2. 顆粒樣品噴金過程示意圖

 

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圖 3. 顆粒樣品噴金結果示意圖

 

http://phenom-china.com/ImgUpload/images/%E9%A3%9E%E7%BA%B3%E7%94%B5%E9%95%9C%E9%A2%97%E7%B2%92%E7%B3%BB%E7%BB%9F4%20-%20%E5%89%AF%E6%9C%AC.jpg

圖 4. 噴金後陰影邊界與顆粒識別案例

 

在拍照過程中↟↟✘│·,應注意調節影象的亮度/對比度↟↟✘│·,如亮度對比度都較低↟↟✘│·,則容易造成軟體識別率下降↟↟✘│·,如圖 5 所示↟•。因此↟↟✘│·,

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