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臺式掃描電子顯微鏡與電子通道襯度的那些事兒

 釋出時間•▩│:2021-07-26 點選量•▩│:903
  臺式掃描電子顯微鏡使用發生匯聚的電子束│•••,轟擊樣品│•••,發生各種訊號│•••,例如二次電子│•••,背散射電子│•••,吸收電子│•••,X射線等││✘◕☁。不同的訊號攜帶有不同的襯度││✘◕☁。常見的襯度有形貌襯度和成分襯度││✘◕☁。還有一種在晶體資料中常見的襯度就是電子通道襯度│•••,即ECC(Electron Channeling Contrast)襯度││✘◕☁。它可以反映不同取向的晶粒以及一些缺陷││✘◕☁。
 
  臺式掃描電子顯微鏡使用中關於晶體的資料│•••,二次電子和背散射電子的產額與初始電子束與晶面的相對取向有關││✘◕☁。晶體取向的不同會造成初始電子被試樣原子散射的機率發生差異│•••,從而影響二次電子和背散射電子的產額││✘◕☁。兩種不同取向晶粒│•••,關於A晶粒│•••,電子進入該晶粒時│•••,與原子核發生磕碰的機率減小│•••,大機率會直接透過往樣品更深處運動│•••,磕碰減小│•••,往樣品外散射的訊號就會減小│•••,圖畫中體現的襯度就會低│•••,比較暗;相反│•••,關於B晶粒│•••,取向發生改變│•••,電子進入該晶粒中│•••,磕碰機率提高│•••,發生的訊號量就會增加│•••,圖畫中體現的襯度就會較高│•••,比較亮││✘◕☁。因而│•••,晶粒取向不同│•••,對發生的訊號量就會造成影響│•••,透過將這些訊號蒐集起來進行處理就可以對不同的取向進行表徵││✘◕☁。
 
  在瞭解了通道襯度是如何構成的之後│•••,要如安在樣品上觀察到這種襯度呢✘☁•?
 
  首先│•••,需求是晶體資料│•••,外表具有良好的晶體結構│•••,因而│•••,關於樣品製備的要求相關於常規掃描樣品要愈加嚴格││✘◕☁。臺式掃描電子顯微鏡需求對樣品進行拋光處理│•••,取得平坦的外表││✘◕☁。一起在機械拋光完成之後外表仍然存在應力層│•••,為了去掉應力層│•••,可以選用振盪拋光│•••,矽膠拋光│•••,電解拋光│•••,或許氬離子拋光│•••,關於部分資料│•••,也可以直接用相應的腐蝕液稍微腐蝕一下│•••,也能很好的去除應力層││✘◕☁。每種制樣辦法都有各自的優缺點│•••,振盪拋光和選用矽膠拋光的辦法│•••,製備的外表很平坦│•••,可是往往需求較長的時刻才幹很好的去除應力層;電解拋光需求樣品導電│•••,拋光引數(包含拋光的時刻電壓電流│•••,電解液的挑選等)需求摸索│•••,拋光的樣品也不適合很大│•••,含有夾雜物或許多相的資料也不適合用電解拋光;氬離子拋光主要有兩種│•••,一種是平面拋光│•••,一種是截面拋光│•••,平面拋光可以在樣品外表接近中心的方位進行│•••,可是往往會帶來非常顯著的外表浮凸│•••,引入形貌襯度│•••,截面拋光雖然可以取得非常平坦的面│•••,可是隻能在邊緣處進行│•••,區域比較小││✘◕☁。因而│•••,依據樣品挑選適宜的制樣辦法│•••,終究取得一個平坦的無應力層的外表││✘◕☁。

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