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高解析度臺式掃描電鏡可增加放大倍率

 釋出時間☁•▩·│:2020-08-25 點選量☁•▩·│:1185
  高解析度臺式掃描電鏡是對樣品表面形態進行測試的一種大型儀器•│☁,當具有一定能量的入射電子束轟擊樣品表面時•│☁,電子與元素的原子核及外層電子發生單次或多次彈性與非彈性碰撞•│☁,一些電子被反射出樣品表面•│☁,而其餘的電子則滲入樣品中•│☁,逐漸失去其動能•│☁,停止運動•│☁,並被樣品吸收╃·✘·•。
  掃描電鏡影片放大器放大的二次電子訊號是一個交流訊號•│☁,用這個交流訊號調製映象管柵極電•│☁,其結果在映象管熒光屏上呈現的是一幅亮暗程度不同的•│☁,並反映樣品表面起伏程度(形貌)的二次電子像╃·✘·•。
  掃描方式分點掃描·•✘╃☁、線掃描·•✘╃☁、面掃描和Y調製掃描╃·✘·•。掃描電鏡影象的放大倍率是透過改變電子束偏轉角度來調節的•│☁,放大倍數等於CRT面積與電子束在樣品上掃描的面積之比•│☁,減小樣品上掃描的面積•│☁,就可增加放大倍率•│☁,電子束在樣品上掃描的面積•│☁,由掃描線圈產生的激勵磁場控制•│☁,可以連續調節•│☁,所以掃描電鏡的放大倍率是可以連續調節的╃·✘·•。
  為保證高解析度臺式掃描電鏡電子光學系統的正常工作•│☁,掃描電鏡採用一個機械泵和一個油擴散泵•│☁,真空系統的工作自動進行並有保護電路╃·✘·•。若達不到高真空•│☁,高壓指示燈將不亮•│☁,高壓加不上•│☁,擴散泵冷卻水斷路或水壓不足•│☁,全機電源自動切斷•│☁,擴散泵溫度過高也自動斷電╃·✘·•。電子槍燈絲更換有單獨的電子槍室與主機鏡筒隔離•│☁,更換燈絲後幾分鐘內電子槍即可達到高真空╃·✘·•。

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