高解析度臺式掃描電鏡是對樣品表面形態進行測試的一種大型儀器•│☁，當具有一定能量的入射電子束轟擊樣品表面時•│☁，電子與元素的原子核及外層電子發生單次或多次彈性與非彈性碰撞•│☁，一些電子被反射出樣品表面•│☁，而其餘的電子則滲入樣品中•│☁，逐漸失去其動能•│☁，停止運動•│☁，並被樣品吸收╃·✘·•。

　　掃描電鏡影片放大器放大的二次電子訊號是一個交流訊號•│☁，用這個交流訊號調製映象管柵極電•│☁，其結果在映象管熒光屏上呈現的是一幅亮暗程度不同的•│☁，並反映樣品表面起伏程度(形貌)的二次電子像╃·✘·•。

　　掃描方式分點掃描·•✘╃☁、線掃描·•✘╃☁、面掃描和Y調製掃描╃·✘·•。掃描電鏡影象的放大倍率是透過改變電子束偏轉角度來調節的•│☁，放大倍數等於CRT面積與電子束在樣品上掃描的面積之比•│☁，減小樣品上掃描的面積•│☁，就可增加放大倍率•│☁，電子束在樣品上掃描的面積•│☁，由掃描線圈產生的激勵磁場控制•│☁，可以連續調節•│☁，所以掃描電鏡的放大倍率是可以連續調節的╃·✘·•。

　　為保證高解析度臺式掃描電鏡電子光學系統的正常工作•│☁，掃描電鏡採用一個機械泵和一個油擴散泵•│☁，真空系統的工作自動進行並有保護電路╃·✘·•。若達不到高真空•│☁，高壓指示燈將不亮•│☁，高壓加不上•│☁，擴散泵冷卻水斷路或水壓不足•│☁，全機電源自動切斷•│☁，擴散泵溫度過高也自動斷電╃·✘·•。電子槍燈絲更換有單獨的電子槍室與主機鏡筒隔離•│☁，更換燈絲後幾分鐘內電子槍即可達到高真空╃·✘·•。