高解析度臺式掃描電鏡是對樣品表面形態進行測試的一種大型儀器▩↟•，當具有一定能量的入射電子束轟擊樣品表面時▩↟•，電子與元素的原子核及外層電子發生單次或多次彈性與非彈性碰撞▩↟•，一些電子被反射出樣品表面▩↟•，而其餘的電子則滲入樣品中▩↟•，逐漸失去其動能▩↟•，停止運動▩↟•，並被樣品吸收☁◕│·。

　　掃描電鏡影片放大器放大的二次電子訊號是一個交流訊號▩↟•，用這個交流訊號調製映象管柵極電▩↟•，其結果在映象管熒光屏上呈現的是一幅亮暗程度不同的▩↟•，並反映樣品表面起伏程度(形貌)的二次電子像☁◕│·。

　　掃描方式分點掃描│•、線掃描│•、面掃描和Y調製掃描☁◕│·。掃描電鏡影象的放大倍率是透過改變電子束偏轉角度來調節的▩↟•，放大倍數等於CRT面積與電子束在樣品上掃描的面積之比▩↟•，減小樣品上掃描的面積▩↟•，就可增加放大倍率▩↟•，電子束在樣品上掃描的面積▩↟•，由掃描線圈產生的激勵磁場控制▩↟•，可以連續調節▩↟•，所以掃描電鏡的放大倍率是可以連續調節的☁◕│·。

　　為保證高解析度臺式掃描電鏡電子光學系統的正常工作▩↟•，掃描電鏡採用一個機械泵和一個油擴散泵▩↟•，真空系統的工作自動進行並有保護電路☁◕│·。若達不到高真空▩↟•，高壓指示燈將不亮▩↟•，高壓加不上▩↟•，擴散泵冷卻水斷路或水壓不足▩↟•，全機電源自動切斷▩↟•，擴散泵溫度過高也自動斷電☁◕│·。電子槍燈絲更換有單獨的電子槍室與主機鏡筒隔離▩↟•，更換燈絲後幾分鐘內電子槍即可達到高真空☁◕│·。