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掃描電鏡的兩隻“眼睛” —— 背散射模式和二次電子模式

 釋出時間│•:2020-07-21 點選量│•:3442

飛納電鏡為客戶配備了二次電子成像模式✘·•▩,使得對樣品立體外觀形貌的觀察又上了一個臺階▩·▩╃☁。飛納電鏡擁有了兩隻觀測樣品的“眼睛”——背散射探測器(BSD)和二次電子探測器(SED)✘·•▩,不管您有什麼觀測需求✘·•▩,這兩隻“眼睛”都可以滿足您絕大部分的要求▩·▩╃☁。

 

二次電子模式

 

飛納臺式掃描電鏡內部可配備二次電子探頭✘·•▩,收集從樣品中被轟擊出的二次電子▩·▩╃☁。這些二次電子主要來源於距樣品 1~10nm 的表面✘·•▩,由於入射深度小✘·•▩,入射電子的作用區域與入射束的束斑尺寸差別不大✘·•▩,所以相同條件下✘·•▩,二次電子的解析度是優於背散射影象的▩·▩╃☁。而且✘·•▩,由於二次電子對樣品傾斜角度更敏感✘·•▩,二次電子影象可以呈現更好的立體形貌✘·•▩,如下圖所示▩·▩╃☁。

 

  

 

可以看到錫球在二次電子成像下✘·•▩,周圍一圈是發亮的▩·▩╃☁。這是由於二次電子是低能量的電子✘·•▩,它們的產生範圍很淺✘·•▩, 所以樣品上任意的傾斜₪▩✘、凹坑₪▩✘、凸起等幾何形貌都會影響二次電子的產生數量✘·•▩,從而出現立體感較強的明暗成像▩·▩╃☁。

 

 

 

背散射電子模式

 

背散射電子模式作為傳統的成像方式✘·•▩,雖然立體成像上不如二次電子✘·•▩,但也有它*的優點▩·▩╃☁。背散射探頭一般分為四部分✘·•▩,各自採集受到樣品原子核反射回來的背散射電子▩·▩╃☁。背散射電子是入射電子經樣品中原子核的散射產生的✘·•▩,其產額與樣品的原子序數呈單調遞增關係✘·•▩,因此✘·•▩,背散射像能反映觀察區域輕₪▩✘、重元素的分佈▩·▩╃☁。如下圖所示▩·▩╃☁。

 

 

 

圖片中錫球上的黑色物質是碳一類的汙染物✘·•▩,可以看到背散射影象用亮暗對比✘·•▩,清晰地區分出了錫球上的汙染物✘·•▩,而二次電子模式就無法做到這一點▩·▩╃☁。

 

在一定的加速電壓下✘·•▩,背散射電子的產生量隨著樣品原子序數的增高而增加✘·•▩,其增加量比二次電子要敏感許多✘·•▩,如下圖所示▩·▩╃☁。所以✘·•▩,背散射電子不僅可以用於形貌分析✘·•▩,還可以用於顯示樣品化學組分的組成特徵✘·•▩,在一定範圍內對試樣表面粗略地進行化學成分分佈情況分析▩·▩╃☁。

 

 

 

根據自身的需要✘·•▩,選擇合適的“眼睛”✘·•▩,會讓我們的樣品形貌更直觀▩·▩╃☁。飛納臺式掃描電鏡可以提供背散射電子模式和二次電子模式的混合像✘·•▩,透過設定混合比例✘·•▩,將兩者的優勢同時發揮出來▩·▩╃☁。

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郵箱│•:info@phenom-china.com

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