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掃描電鏡結構設計合理

 釋出時間·↟↟••:2018-08-29 點選量·↟↟••:1099
   掃描電鏡結構設計合理
   掃描電鏡的解析度介於光學顯微鏡和透射電子顯微鏡之間☁╃,但在對厚塊試樣的觀察進行比較時☁╃,因為在透射電子顯微鏡中還要採用復膜方法☁╃,而復膜的解析度通常只能達到10nm☁╃,且觀察的不是試樣本身╃•▩✘。因此☁╃,用掃 描電鏡觀察厚塊試樣更有利☁╃,更能得到真實的試樣表面資料╃•▩✘。
   觀察試樣的各個區域的細節╃•▩✘。試樣在樣品室中可動的範圍非常大☁╃,其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2-3cm☁╃,故實際上只許可試樣在兩度空間內運動☁╃,但在掃描電鏡中則不同╃•▩✘。由於工作距離大(可大於20mm)╃•▩✘。焦 深大(比透射電子顯微鏡大10倍)╃•▩✘。樣品室的空間也大╃•▩✘。因此☁╃,可以讓試樣在三度空間內有6個自由度運動(即三度空間平移☁·、三度空間旋轉)╃•▩✘。且可動範圍大☁╃,這對觀察不規則形狀試樣的各個區域帶來極大的方便╃•▩✘。
   掃描電鏡在大視場☁·、低放大倍數下觀察樣品☁╃,用掃描電鏡觀察試樣的視場大╃•▩✘。在掃描電鏡中☁╃,能同時觀察試樣的視場範圍F由下式來確定·↟↟••:F=L/M式中 F——視場範圍;M——觀察時的放大倍數;L——顯象管的熒光屏 尺寸╃•▩✘。若掃描電鏡採用30cm(12英寸)的顯象管☁╃,放大倍數15倍時☁╃,其視場範圍可達20mm☁╃,大視場☁·、低倍數觀察樣品的形貌對有些領域是很必要的☁╃,如刑事偵察和考古╃•▩✘。
   進行從高倍到低倍的連續觀察☁╃,放大倍數的可變範圍很寬☁╃,且不用經常對焦╃•▩✘。掃描電鏡的放大倍數範圍很寬(從5到20萬倍連續可調)☁╃,且一次聚焦好後即可從高倍到低倍☁·、從低倍到高倍連續觀察☁╃,不用重新聚焦☁╃, 這對進行事故分析特別方便╃•▩✘。
   因電子照射而發生試樣的損傷和汙染程度很小╃•▩✘。同其他方式的掃描電鏡比較☁╃,因為觀察時所用的電子探針電流小☁╃,電子探針的束斑尺寸小☁╃,電子探針的能量也比較小☁╃,而且不是固定一點照射試樣☁╃,而是以光柵狀掃描 方式照射試樣╃•▩✘。因此☁╃,由於電子照射面發生試樣的損傷和汙染程度很小☁╃,這一點對觀察一些生物試樣特別重要╃•▩✘。
   在掃描電鏡中☁╃,成象的資訊主要是電子資訊☁╃,根據近代的電子工業技術水平☁╃,即使高速變化的電子資訊☁╃,也能毫不困難的及時接收☁·、處理和儲存☁╃,故可進行一些動態過程的觀察☁╃,如果在樣品室內裝有加熱☁·、冷卻☁·、彎 曲拉伸和離子刻蝕等附件☁╃,則可以透過電視裝置☁╃,觀察相變☁·、斷烈等動態的變化過程╃•▩✘。

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